Gas di processo

Il gas di processo è il gas o la miscela di gas utilizzata per eccitare il plasma. In base alle proprietà del gas di processo, si possono ottenere effetti del plasma molto diversi. Di conseguenza, viene utilizzato un gran numero di gas di processo.  I gas di processo più importanti sono: ossigeno, idrogeno, tetrafluorometano, argon, elio, l’esafluoruro di zolfo, aria, acqua, ecc.