Gaz de traitement

Le gaz de traitement est le gaz ou le mélange de gaz utilisé pour exciter le plasma. Selon les propriétés du gaz de traitement, des effets très différents du plasma peuvent être obtenus. Par conséquent, un grand nombre de gaz de traitement est utilisé. Les gaz de traitement les plus importants sont les suivants : oxygènehydrogènetétrafluorométhaneargon hélium, hexafluorure de soufre, air, eau, ...

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