Plasma de baja presión
plasma técnico puede excitarse a presión atmosférica o en gases diluidos. La excitación a presión atmosférica se efectúa por medio de descarga de gas. A causa del recorrido libre de los iones a presión atmosférica (aprox. 10–7 m), la dilatación del plasma está limitada a la zona que cuenta con una intensidad de campo muy elevada. El plasma de baja presión se genera entre dos electrodos por campos electromagnéticos de alta frecuencia. Debido al gran recorrido libre de las partículas excitadas (aprox. 10 cm a 10–3 mbar), la dilatación del plasma puede superar el radio de acción del campo de alta frecuencia e incluir también el volumen completo de un recipiente. En principio, el plasma de baja presión puede excitarse en cualquier gas. Incluso sustancias que se encuentran en estado líquido a presión atmosférica pueden volverse gaseosas a baja presión y emplearse como gas del proceso. Dichas sustancias se vaporizan fuera del recipiente y se alimentan en estado gaseoso. Al existir un gran número de gases de proceso adecuados, pueden llevarse a cabo procesos con plasma igual de diversos.
