Плазма низкого давления

плазма возбуждается при атмосферном давлении или в разреженных газах. Возбуждение в атмосферном давлении происходит под действием газового разряда. Ввиду свободного пробега ионов при атмосферном давлении (около 10^-7 м) расширение плазмы ограничено зоной очень высокой напряженности поля. Плазма низкого давления создается между двумя электродами под действием электромагнитных полей высокой частоты. Благодаря значительному свободному пробегу возбужденных частиц (около 10 см при 10^-3 мбар) расширение плазмы может выходить за пределы области действия высокочастотного поля, т.е. плазма может заполнять весь объем реципиента .  Плазма низкого давления принципиально может быть возбуждена в любом газе . Также субстанции, находящиеся в жидком состоянии при атмосферном давлении, в условиях низкого давления могут переходить в газовую фазу и использоваться в качестве технологического газа . Они испаряются за пределами реципиента и подаются в форме газа. Разнообразие подходящих технологических газов позволяет реализовать многочисленные плазменные процессы .