Plasma basse pression

Le plasma technique peut être excité à la pression atmosphérique ou dans des gaz dilués. L'excitation à la pression atmosphérique est obtenue par décharge de gaz. En raison de la longueur du trajet libre des ions à la pression atmosphérique (environ 10-7 m), l'expansion du plasma est limitée à la zone d'intensité de champ très élevée. Le plasma basse pression est généré entre deux électrodes par des champs électromagnétiques à haute fréquence. En raison de la grande longueur du trajet libre des particules excitées (environ 10 cm à 10-3 mbars), l'expansion du plasma peut s'étendre au-delà de la plage effective du champ à haute fréquence et couvrir également tout le volume d'un récipient.  En principe, le plasma basse pression peut être excité dans n'importe quel gaz. Même des substances liquides sous pression atmosphérique peuvent être gazeuses à basse pression et être utilisées comme gaz de traitement. Ils sont vaporisés à l'extérieur du récipient et alimentés sous forme gazeuse. En raison du grand nombre de gaz de processus appropriés, il est possible de réaliser une grande variété de processus plasma.

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