Plasma a bassa pressione

plasma tecnico può essere eccitato a pressione atmosferica o in gas diluiti. L'eccitazione a pressione atmosferica avviene mediante scarica di gas. Data la lunghezza del percorso libero degli ioni a pressione atmosferica (circa 10^-7 m), l'espansione del plasma è limitata alla zona di elevata intensità di campo. Il plasma a bassa pressione è generato tra due elettrodi da campi elettromagnetici ad alta frequenza. Data la grande lunghezza di percorso libero delle particelle eccitate (circa 10 cm a 10^-3 mbar), la dilatazione del plasma può superare la gamma effettiva del campo ad alta frequenza e coprire l'intero volume di un recipiente .  In linea di principio, il plasma a bassa pressione può essere eccitato in qualsiasi gas . Anche le sostanze liquide a pressione atmosferica possono diventare gassose a bassa pressione ed essere utilizzate come gas di processo . Vengono evaporate all'esterno del recipiente e immesse in forma gassosa. L'elevato numero di gas di processo idonei consente di realizzare processi al plasma altrettanto diversificati.