Ultrahochvakuum

Als Ultrahochvakuum bezeichnet man Vakuum mit einem Druck von weniger als 10-7 mbar. Die mittlere freie Weglänge eines Teilchens beträgt bei diesem Druck rund 1 km.

Ultrahochvakuum kann von Turbomolekularpumpen erreicht werden, wenn Anlagen excellent abgedichtet sind und sich keine gasenden Objekte im Vakuum befinden.

Für wenige technische Zwecke ist Ultrahochvakuum erforderlich, beispielsweise in Teilchenbeschleunigern und in Anlagen zum Dotieren von Halbleitern.