Vuoto ultraelevato

Per vuoto ultraelevato si intende un vuoto con una pressione inferiore a 10-7 mbar. Il percorso libero medio di una particella a questa pressione è di circa 1 km. Il vuoto ultraelevato si può ottenere con pompe turbomolecolari in condizioni di completa ermeticità degli impianti e in assenza di oggetti di gassificazione nel vuoto. Il vuoto ultraelevato è necessario per determinati scopi tecnici, ad esempio negli acceleratori di particelle e nei sistemi di drogaggio dei semiconduttori.

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