Glossaire de la technologie de surface

Ultravide

Un ultravide est un vide dont la pression est inférieure à 10-7 mbars. Le trajet libre moyen d'une particule à cette pression est d'environ 1 km. Un ultravide peut être obtenu par des pompes turbomoléculaires si les installations sont parfaitement étanches et s'il n'y a pas d'objets gazeux dans le vide. L'ultravide n'est requis que par quelques applications techniques, par exemple dans des accélérateurs de particules et des installations de dopage de semi-conducteurs.

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