Rasterelektronenmikroskop (REM)

Die Auflösung von Mikroskopen ist dadurch begrenzt, dass zwei Punkte nur dann als getrennt wahrgenommen werden können, wenn sie weiter voneinander entfernt sind als die halbe Wellenlänge der zur Betrachtung verwendeten Strahlung. Die Wellenlänge von Elektronenstrahlen ist viel kleiner als die von sichtbarem Licht. Deshalb können wesentlich kleinere Strukturen aufgelöst werden. 

REM betrachten die reflektierte Strahlung. Dabei scannt der Elektronenstrahl das Objekt Punkt für Punkt ab ("Raster"). Ein ganz besonderer Vorteil der REM ist, dass nicht nur eine Fokusierung auf einen ganz eng begrenzten Abstand möglich ist, so dass dreidimensionale Strukturen auch großer Tiefe insgesamt scharf abgebildet werden können.

Es gibt auch Transmissionselektronenmikroskope (TEM), die geringere Bedeutung haben, da sie nur für sehr dünne Objekte anwendbar sind, die für Elektronenstrahlen durchlässig sind.