Растровый электронный микроскоп (REM)

Разрешающая способность микроскопов ограничена тем, что две точки могут восприниматься раздельно, только если расстояние между ними больше половины длины волны излучения, используемого для наблюдения. Длина волны электронных лучей намного меньше длины волны видимого света. Это позволяет анализировать намного меньшие структуры.  В REM используется отраженное излучение. Электронный луч точка за точкой (растр) сканирует объект. Особое преимущество REM состоит не только в возможности фокусирования с очень ограниченной дистанцией, но и в получении в целом четких изображений трехмерных структур, в том числе большой глубины. Существуют также трансмиссионные электронные микроскопы (TEM), не так широко распространенные из-за применимости только к очень тонким объектам, проницаемым для электронных лучей.