Lessico della tecnologia delle superfici

Microscopio elettronico a scansione (SEM)

La risoluzione dei microscopi è limitata dal fatto che due punti possono essere percepiti come separati solo se distano tra loro oltre la metà della lunghezza d'onda della radiazione utilizzata per l'osservazione. La lunghezza d'onda dei fasci di elettroni è molto inferiore a quella della luce visibile. In questo modo è possibile la risoluzione di strutture molto più piccole.  Il microscopio SEM permette di osservare le radiazioni riflesse. Il fascio di elettroni scansiona l'oggetto punto per punto ("reticolo"). Un vantaggio particolare del SEM è che non si limita a mettere a fuoco su una distanza molto limitata, permettendo di riprendere nitidamente le strutture tridimensionali anche a grandi profondità. Esistono anche i microscopi elettronici a trasmissione (TEM), meno rilevanti perché utilizzabili solo per oggetti molto sottili e trasparenti ai fasci di elettroni.

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