Glossaire de la technologie de surface

Microscope électronique à transmission (MET)

La résolution des microscopes est limitée par le fait que deux points ne peuvent être perçus comme distincts que s'ils sont plus éloignés que la moitié de la longueur d'onde du rayonnement utilisé pour l'observation. La longueur d'onde des faisceaux d'électrons est beaucoup plus petite que celle de la lumière visible. Par conséquent, des structures beaucoup plus petites peuvent être résolues.  Des MEB observent le rayonnement réfléchi. Le faisceau d'électrons balaye l'objet point par point (« trame »). Un avantage très particulier du MEB est qu'il n'est pas seulement possible de se concentrer sur une distance très limitée, de sorte que des structures tridimensionnelles peuvent également être représentées de manière nette, tout comme de grandes profondeurs. Il existe également des microscopes électroniques à transmission (MET), qui sont moins importants parce qu'ils ne peuvent être utilisés que pour des objets très minces qui laissent passer des faisceaux d'électrons.

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