Efectos del plasma

Término general para designar los efectos que ejerce un plasma: En el plasma, están activos los siguientes componentes:

  • Los átomos, radicales e iones excitados que, debido a su alta reactividad química, reaccionan de forma muy intensa con las superficies del sustrato en el plasma.
    Este efecto es el responsable del grabado con plasma, la limpieza con plasma y la polimerización por plasma
  • Los iones que, a causa de su carga eléctrica, se aceleran en el campo eléctrico pueden ejercer una influencia a escala atómica por su elevada energía cinética, como en el caso de los chorros de arena.
    Este efecto provoca la limpieza con plasma y el grabado con plasma por microchorros de arena, así como efectos de grabado anisotrópico mediante grabado iónico.
  • La radiación UV de alta energía que surge en el plasma, sobre todo, por los choques que se producen entre iones y electrones. La radiación UV divide las moléculas  y es la responsable, en primera instancia, de la formación de radicales, requisito indispensable para todas las reacciones químicas del plasma.

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