Plasmaeffekte

Überbegriff für die Wirkungen eines Plasmas:

Im Plasma wirken:

  • Angeregte Atome, Radikale und Ionen, die auf Grund ihrer hohen chemischen Reaktivität sehr stark mit Substratoberflächen im Plasma reagieren.
    Dieser Effekt ist verantwortlich für Plasmaätzen, Plasmareinigen, Plasmapolymerisation
  • Ionen, die auf Grund ihrer elektrischen Ladung im elektrischen Feld beschleunigt werden, können auf Grund ihrer hohen kinetischen Energie wie Sandstrahlen im atomaren Maßstab wirken.
    Dieser Effekt ist verantwortlich für Plasmareinigen und Plasmaätzen durch Mikrosandstrahlen und für anisotrope Ätzwirkungen durch Ionenätzen.
  • Hochenergetische UV-Strahlung entsteht im Plasma insbesondere durch Stöße zwischen Ionen und Elektronen. Die UV-Strahlung spaltet Moleküle und ist in erster Linie verantwortlich für die Radikalbildung, die Voraussetzung für alle chemischen Reaktionen des Plasmas ist.

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