Плазменные эффекты

плазме действуют:

  • Возбужденные атомы, радикалы и ионы, ввиду очень высокой химической активности очень сильно реагирующие в плазме с поверхностями субстратов.
    Этот эффект отвечает за плазменное травление, плазменную очистку, плазменную полимеризацию
  • Ионы, ускоряющиеся в электрическом поле, благодаря высокой кинетической энергии способны выполнять пескоструйную обработку в атомарном масштабе.
    Этот эффект отвечает за плазменную очистку и плазменное травление микропескоструйной обработкой и неизотропное ионное травление.
  • УФ-излучение высокой энергии возникает в плазме при столкновениях между ионами и электронами. Это УФ-излучение расщепляет молекулы и в первую очередь отвечает за формирование радикалов, которое является условием для всех химических реакций плазмы.

вернуться к глоссарию

+49 7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете