
Глоссарий технологии обработки поверхностей
Плазменные эффекты
плазме действуют:
- Возбужденные атомы, радикалы и ионы, ввиду очень высокой химической активности очень сильно реагирующие в плазме с поверхностями субстратов.
Этот эффект отвечает за плазменное травление, плазменную очистку, плазменную полимеризацию. - Ионы, ускоряющиеся в электрическом поле, благодаря высокой кинетической энергии способны выполнять пескоструйную обработку в атомарном масштабе.
Этот эффект отвечает за плазменную очистку и плазменное травление микропескоструйной обработкой и неизотропное ионное травление. - УФ-излучение высокой энергии возникает в плазме при столкновениях между ионами и электронами. Это УФ-излучение расщепляет молекулы и в первую очередь отвечает за формирование радикалов, которое является условием для всех химических реакций плазмы.