Effets plasma

Terme générique désignant les effets d'un plasma : Dans le plasma agissent :

  • des atomes, radicaux et ions excités de manière très forte avec les surfaces des substrats, en raison de leur forte réactivité chimique.
    Cet effet est responsable de la gravure plasma, du nettoyage plasma, de la polymérisation plasma
  • Des ions accélérés dans le champ électrique en raison de leur charge électrique peuvent agir comme le sablage à l'échelle atomique, en raison de leur énergie cinétique élevée.
    Cet effet est responsable du nettoyage au plasma et de la gravure au plasma par micro-sablage et de la gravure anisotrope par gravure ionique.
  • Le rayonnement UV à haute énergie est généré dans le plasma, en particulier par des chocs entre les ions et les électrons. Le rayonnement UV divise les molécules et est principalement responsable de la formation de radicaux, ce qui est une condition préalable à toutes les réactions chimiques du plasma.

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