Effetti del plasma

Termine generico per indicare gli effetti del plasma. Nel plasma agiscono:

  • Gli atomi, i radicali e gli ioni eccitati, che nel plasma reagiscono intensamente con le superfici del substrato per l’elevata reattività chimica.
    Questo effetto determina l'acidatura al plasma, la pulizia al plasma, la polimerizzazione al plasma
  • Gli ioni, accelerati nel campo elettrico per la loro carica elettrica, possono avere l’effetto della sabbiatura su scala atomica.
    Questo effetto determina la pulizia al plasma e l'acidatura al plasma mediante  microsabbiatura ed effetti anisotropi tramite acidatura ionica.
  • Le radiazioni UV ad elevata energia vengono emesse nel plasma, in particolare a seguito di collisioni tra ioni ed elettroni. La radiazione ultravioletta scinde le molecole ed è il principale responsabile della formazione di radicali, presupposto indispensabile per tutte le reazioni chimiche del plasma.

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