Аргон

Благородный газ , широко распространенный в природе (почти 1% земной атмосферы) и благодаря полной химической инертности часто используемый в качестве защитного газа. В плазменной очистке и плазменной активации часто используется как технологический газ, не вступающий в реакцию с субстратом, но обеспечивающий снятие загрязнений (->эффект микропескоструйной обработки), подходящий для неизотропного физического травленияионное травление IE) и создания радикальных центров на органических полимерах .

вернуться к глоссарию

+49 7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете