Argon

Gas nobile molto frequente in natura (quasi l'1% dell'atmosfera terrestre), spesso utilizzato come gas protettivo per la sua completa inerzia chimica. Nella pulizia al plasma e nell’ attivazione al plasma si tratta di un gas di processo di uso frequente, che non reagisce chimicamente con il substrato, ma può essere utilizzato per rimuovere le impurità dal substrato (->Effetto di microsabbiatura), per l’acidatura fisica anisotropa (l’acidatura ionica IE) e per la produzione di radicali sui polimeri organici.