Argón

Gas noble de amplia presencia en la naturaleza (representa casi el 1 % de la atmósfera terrestre), que se emplea a menudo como gas protector por tratarse de un elemento químicamente inerte por completo. Se utiliza con frecuencia como gas de proceso en la limpieza con plasma y en la activación con plasma, ya que no puede protagonizar ninguna reacción química con el sustrato, pero resulta apropiado para la extracción de impurezas (->efecto de microchorros de arena), para el grabado físico anisotrópico (grabado iónico [IE]) y para la generación de posiciones de radicales en polímeros orgánicos.