Argon

Gaz rare d'une grande fréquence naturelle (près de 1% de l'atmosphère terrestre), qui est souvent utilisé comme gaz protecteur en raison de son inertie chimique intégrale. Dans le nettoyage au plasma et l'activation plasma , ce gaz de traitement est fréquemment utilisé car il ne peut pas réagir chimiquement avec le substrat, mais peut être utilisé pour éliminer les impuretés (->effet de micro-sablage), pour la gravure physique anisotrope (gravure ionique IE) et pour la génération de radicaux sur des polymères organiques.