Argon

Edelgas mit großer natürlicher Häufigkeit (fast 1% der Erdatmosphäre), das aufgrund seiner völligen chemischen Inertheit häufig als Schutzgas eingesetzt wird. In der Plasmareinigung und Plasmaaktivierung häufig verwendetes Prozessgas, das mit dem Substrat keine chemische Reaktion eingehen kann, sich aber zum Abtragen von Verunreinigungen (->Mikrosandstrahleffekt), zum anisotropen physikalischen Ätzen (Ionenätzen IE) und zur Erzeugung von Radikalstellen auf organischen Polymeren eignet. 

Mikromechanische Feinstreinigung durch Mikrosandstrahlen im Argon-Plasma kommt bei der Reinigung von Metallen – insbesondere entfernen von Oxidschichten (Reduktion) – zum Einsatz. Die Plasmaanlagen von Diener electronic sind je nach Prozessanforderung dafür ausgelegt.