Idrogeno

Gas biatomico (H2), utilizzato come gas di processo nel plasma. La bassa massa produce solo un debole effetto di sputtering, ma un buon effetto nella rimozione di strati superficiali riducibili, ad es. di ossidi superficiali su metalli. È il più leggero degli elementi chimici costituiti da un protone e da un elettrone . Il nucleo dell'idrogeno pesante (deuterio) e dell'idrogeno superpesante (trizio) contengono uno o due neutroni supplementari.

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