Hydrogène

Gaz bi-atomique (H2), utilisé en tant que gaz de traitement dans le plasma. À cause de sa faible masse, l'effet de pulvérisationest faible, mais lors de l'élimination de couches superficielles réductibles, par ex. oxydes à la surface de métaux, l'effet est bon. Il s'agit du plus léger des éléments chimiques, constitué d'un proton et d'un électron . L' hydrogène plus lourd (deutérium) et l'hydrogène super lourd (tritium) contiennent dans le noyau un ou deux neutrons supplémentaires.

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