Глоссарий технологии обработки поверхностей
Водород
2), используемый в качестве технологического газа в плазме. Из-за малой массы обладает слабым эффектом ионно-плазменного распыления, однако хорошо удаляет воспроизводимые поверхностные слои, например оксидные пленки на металлах. Самый легкий из химических элементов, состоящий из одного протона и одного электрона . Тяжелый водород (дейтерий) и сверхтяжелый водород (тритий) содержат в ядре один или два дополнительных нейтрона.
