Hidrógeno

Gas biatómico (H₂) que se utiliza como gas del proceso en el plasma. Debido a su escasa masa, su efecto de sputtering es débil, pero muestra una gran capacidad para eliminar capas superficiales reducibles, p. ej., óxidos superficiales en metales. Se trata del elemento químico más ligero, que consta de un protón y un electrón. El hidrógeno pesado (deuterio) contiene un neutrón adicional en el núcleo, y el hidrógeno superpesado (tritio), dos neutrones adicionales.