
Глоссарий технологии обработки поверхностей
Напряжение смещения
электрод накладывается составляющая постоянного напряжения, то эту составляющую называют напряжением смещения. В плазме низкого давления возникающее под действием заряда автоматическое напряжение смещенияиспользуется при ионном травлении.