Plasma de baja temperatura
plasma de una descarga de gas, se producen temperaturas muy elevadas, debidas a la pérdida de potencia que provocan la resistencia óhmica y el alto flujo de corriente. Durante la excitación de alta frecuencia en el plasma de baja presión, los aumentos de temperatura son mínimos. El motivo radica en que los iones no pueden seguir la elevada frecuencia del campo alterno a causa de su inercia, por lo que se conserva su movimiento molecular en su práctica totalidad. Sin embargo, dado que la temperatura de un medio está causada por la energía cinética de las moléculas y los átomos, la temperatura del plasma casi no se incrementa en comparación con el gas no excitado. En consecuencia, la reducida carga térmica del plasma de baja presión con excitación de alta frecuencia también permite tratar sustratos sensibles a la temperatura, lo que incluye prácticamente todos los plásticos. En el plasma de baja presión, solamente se calientan de forma considerable los sustratos conductores debido a las corrientes inducidas (como sucede en un horno microondas).