Plasma a bassa temperatura

plasma di una scarica di gas si registrano temperature molto elevate. La causa è la perdita di potenza per effetto della resistenza ohmica e dell'elevato flusso di corrente. Nel caso di eccitazione ad alta frequenza nel plasma a bassa pressione , gli aumenti di temperatura sono minimi. La ragione è che gli ioni non possono seguire l'alta frequenza del campo alternato a causa dell’inerzia di massa, per cui mantengono il loro movimento molecolare. Tuttavia, poiché la temperatura di un mezzo è causata dall'energia cinetica delle molecole e degli atomi , la temperatura del plasma risulta praticamente invariata rispetto a quella del gas non eccitato. Mediante la sollecitazione termica nel plasma a bassa pressione con eccitazione ad alta frequenza, è così possibile trattare anche substrati sensibili alla temperatura, ovvero tutti i materiali plastici. Nel plasma a bassa pressione vengono riscaldati intensamente solo substrati elettricamente conduttivi in base alle correnti indotte (come nei forni a microonde).