Niedertemperaturplasma

Im Plasma einer Gasentladung treten sehr hohe Temperaturen auf. Ursache ist die Verlustleistung durch den Ohmschen Widerstand und den hohen Stromfluss.

Bei der Hochfrequenzanregung im Niederdruckplasma treten nur minimale Temperaturerhöhungen auf. Der Grund dafür ist, dass die Ionen auf Grund ihrer Massenträgheit der hohen Frequenz des Wechselfeldes nicht folgen können, ihre Molekularbewegung also praktisch beibehalten. Da die Temperatur eines Mediums aber durch die Bewegungsenergie der Moleküle und Atome verursacht wird, ist die Temperatur des Plasmas gegenüber dem nicht angeregten Gas praktisch nicht erhöht.

Die Temperaturbelastung im Niederdruckplasma mit Hochfrequenzanregung erlaubt daher auch die Behandlung temperaturempfindlicher Substrate einschließlich praktisch aller Kunststoffe.

Stark erwärmt werden in Niederdruckplasma lediglich elektrisch leitfähige Substrate auf Grund induzierter Ströme (wie im Mikrowellenherd).