Oberflächen aufrauen

Oberflächen werden in erster Linie aufgeraut, um eine Oberflächenvergrößerung zu erzielen, welche  die Haftung von später aufgebrachten Beschichtungen und beim Kleben verbessert. Beim Prozess des Aufrauens werden zugleich als Trennschicht wirkende Oberflächenschichten mit entfernt.
Das Aufrauen von Oberflächen ist klassisch eine Anwendung für mechanische Bearbeitungsverfahren, insbesondere Schleifen oder auch Sandstrahlen. Bei mechanischen Rauverfahren kann es problematisch sein, Schleifrückstände (Schleifstaub) restlos zu entfernen, was wiederum die Haftung von Beschichtungen verschlechtert.
Teilweise ist ein Aufrauen der Oberfläche auch durch nasschemisch Ätzverfahren möglich.

Oberflächen werden können im Niederdruckplasma durch Plasmaätzen aufgeraut werden. Eine besonders effektive Methode ist Mikrosandstrahlen durch Ionenbeschuss im Argon (Ar)-Plasma. Dieses Verfahren wird auch als Ionenätzen oder physikalisches Ätzen bezeichnet, da bei diesem Verfahren chemische Reaktionen keine Rolle spielen. Mikrosandstrahlen wirkt auf nahezu allen Oberflächen (nicht selektiv) und ist stark anisotrop.

Wie bei mechanischen Rauverfahren werden beim Mikrosandstrahlen auch Verschmutzungen entfernt. Obwohl die übliche Rautiefe beim Mikrosandstrahlen durch physikalisches Ätzen unterhalb von 1 µm liegt, werden vergleichbare oder stärkere Oberflächenvergrößerungen erzielt als bei mechanischen Verfahren.