Осаждение осуществляется за счет полимеризации в вакуумном методе нанесения покрытий – так называемом химическом осаждении из газовой фазы (англ. Chemical Vapour Deposition – CVD). Димер (твердый [2,2]-p-Cyclophan), присутствующий в порошкообразной форме, сначала сублимируется в испарителе.
Температурное расщепление относительно инертного димерного газа осуществляется с использованием пиролизной трубки при 650 °C и ведет к образованию высокоактивных мономеров. При этом рабочее давление зависит от используемого димера и типа установки и составляет 0,02 - 0,1 мбар. Посредством диффузии активные мономеры попадают в последующую вакуумную камеру, в которой обрабатываемый материал находится на вращающемся основании.
Активные мономеры полимеризуются преимущественно на холодных поверхностях в тонкие слои из поли(пара-ксилилена) или парилена. Не все мономеры полимеризуются в камере, поэтому должно быть предотвращено сопутствующее нанесение покрытия на вакуумный насос. В систему должна быть интегрирована холодная ловушка. Эта ловушка на время процесса заполняется жидким азотом. Это ведет к полимеризации остаточных мономеров в ловушке и сохранению работоспособности насоса.
Применение
Надежное нанесение покрытий в самых разнообразных областях применения
Парилен – это краткое обозначение полимерной группы поли(пара-ксилиленов). Полимеры состоят из замещенных разными способами пара-ксилиленов. Базой для нанесения покрытий являются димеры. Это молекулярная связка, состоящая из двух идентичных субблоков – так называемых мономеров.
Уникальные свойства парилена:
- Абсолютное постоянство толщины слоя вне зависимости от геометрии поверхности
- Отсутствие пропусков и просветов начиная с толщины менее 1мкм
- Крайне высокая способность проникать в зазоры
- Недостижимые барьерные свойства (в частности, Parylene C)
- Нерастворимость
- Соответствие требованиям к натуральности продуктов питания и биосовместимости
- Отсутствие воздействия на окружающую среду
- Предельно высокая термостойкость (Parylene F-AF4)
