Нанесение CVD-покрытий

химической реакции при повышенной температуре образует твердое вещество, под каталитическим действием поверхности субстрата оседающее на базовом материале. У этого метода существуют несколько вариантов, среди них – термопроцессы CVD и CVD с плазменной активацией (PA-CVD). Наиболее важными типами реакции при первом варианте являются хемосинтез, пиролиз и диспропорционирование. В процессе PA-CVD химические реакции активируются плазмой. Наряду с обозначением PACVD в английской литературе используется термин PE-CVD (PECVD, plasma enhanced CVD).