Enduction CVD

Dans le procédé CVD, un mélange gazeux est introduit dans la chambre de réaction, forme le solide par une réaction chimique à température élevée et retombe sur le matériau de base sous l'effet catalytique de la surface du substrat. Il existe plusieurs variantes dans ce procédé, parmi lesquelles on distingue entre autres entre les procédés CVD thermiques et les procédés CVD activés par plasma. (PA-CVD). Les types de réaction les plus importants dans le premier procédé mentionné sont la chimiosynthèse, la pyrolyse et la disproportion. Dans le procédé PA-CVD, les réactions chimiques sont activées par un plasma. Outre la désignation PACVD il existe également le terme PE-CVD (PECVD, plasma enhanced CVD) dans la littérature anglaise.

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