Ultra High Purity (UHP)

плазменных установок, которые могут быть выполнены из боросиликатного или кварцевого стекла. Опция UHP доступна только для следующих установок: Femto, Pico и Nano. Стеклянные камеры используются в микроволновых установках и/или технологиях, требующих поверхностей сверхвысокой чистоты. Обычные камеры из высококачественной стали или алюминия могут, как и все металлы в плазменной установке, подвергаться в минимальным объемах ионно-плазменному распылению. Для большинства процессов это не имеет никакого значения, поэтому данным эффектом можно пренебречь. Алюминиевые детали из UHP-установки покрыты слоем AL₂O₃.