Ultra High Purity (UHP)
UHP signifie Ultra High Purity (soit Ultra Haute Pureté). Cette désignation s'applique aux récipients en verre de nos systèmes plasma, qui peuvent être en verre borosilicaté ou en verre de quartz , selon les besoins du client. L'option UHP n'est disponible que pour les systèmes suivants : Femto, Pico et Nano. Des chambres en verre sont utilisées dans les systèmes à micro-ondes et/ou dans les applications nécessitant une surface ultra pure. Des chambres normales en acier inoxydable ou en aluminium peuvent, comme tous les métaux d'un système plasma, pulvériser le matériau à traiter en très petites quantités. Ceci n'est pas important pour la plupart des processus et peut être complètement négligé. Les composants en aluminium de l'installation UHP sont revêtus d'AL2O3.
