Ultra High Purity (UHP)

UHP è l’acronimo di Ultra High Purity (estrema purezza). Questa denominazione si riferisce ai recipienti di vetro dei nostri impianti al plasma, che possono essere in vetro borosilicato o vetro di quarzo a seconda dei requisiti del cliente. L'opzione UHP è disponibile solo per i seguenti impianti: Femto, Pico e Nano. Le camere in vetro vengono utilizzate in impianti a microonde e/o in applicazioni in cui è richiesta una superficie ultrapura. Nelle normali camere in acciaio inossidabile o in alluminio, come per tutti i metalli di un impianto al plasma, si può spruzzare in piccolissime quantità anche il materiale da trattare. Per la maggior parte dei processi questo aspetto non è rilevante e può essere completamente ignorato. I componenti in alluminio dell'impianto UHP hanno un rivestimento in AL2O3 .

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