Pureza ultraalta (UHP)
UHP es la abreviatura de Ultra High Purity (pureza ultraalta). Esta denominación se utiliza para designar los recipientes de vidrio de nuestros sistemas de plasma, que pueden estar compuestos por vidrio de borosilicato o vidrio de cuarzo, según desee el cliente. La opción UHP solamente está disponible para los siguientes sistemas: Femto, Pico y Nano. Se emplean cámaras de vidrio en sistemas de microondas o en aplicaciones que requieran una superficie ultrapura. Las cámaras normales, de acero inoxidable o aluminio, pueden ocasionar sputtering en cantidades ínfimas, como sucede en todos los metales de un sistema de plasma y, por tanto, también en el material de tratamiento. Para la mayoría de los procesos, este fenómeno no resulta significativo y puede despreciarse sin problema. Los componentes de aluminio del sistema UHP están recubiertos con AL2O3.
