Radicali

I radicali si formano nei gas di processo molecolare, ma anche su substrati esposti al plasma . Ciò è dovuto in particolare all'effetto ionizzante della radiazione ultravioletta del plasma. Questa radiazione UV scinde i legami molecolari, ossia singoli atomi o parti di una molecola. Le due parti separate hanno ora un legame non occupato, che intendono riempire il più rapidamente possibile. Sono pertanto altamente reattivi, perché interagiscono immediatamente con la prossima particella nella loro orbita, corrispondente al legame aperto. Le parti della molecola così separate con legame aperto sono chiamate radicali, mentre il legame aperto è denominato sito radicale. Dalla reazione e dalla concatenazione dei radicali si possono formare dei polimeri, mentre dalla reazione dei radicali nel gas di processo e nel substrato si formano nuove molecole, che passano alla fase gassosa lasciando relativi punti mancanti sul substrato. Proprio in questo modo funzionano l’acidatura al plasma e la pulizia al plasma.