Плазменная система

плазменной обработки. Обязательно включает в себя:

  1. Плазменный генератор
  2. Линии для подачи напряжения и технологического газак генератору плазмы
  3. Электрическая система управления

Особенности плазменной установки низкого давления

Плазменный генератор представляет собой высокочастотный генератор. Другие компоненты плазменной системы – прочная на давление вакуумная камера и вакуумная система. В зависимости от реализуемого плазменного процесса применяются разные генераторы плазмы. Высокочастотные электроды (пластинчатые или трубные электроды) или магнетрон при возбуждении микроволновым излучением. Используются также различные опциональные компоненты:

  • Датчики давления
  • Регулировочные клапаны
  • Фильтры отработавших газов
  • Электрические экраны (клетка Фарадея)
  • Полимерные испарители
  • Носители материала

Особенности атмосферной плазмы

Используется высоковольтный плазменный генератор. Для возбуждения плазмы в генераторе плазмы размещены два электрода коронного разряда, между которыми под действием высокого напряжения зажигается газовый разряд. Используемый технологический газ подается под высоким давлением.

вернуться к глоссарию

+49 (0)7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете