Плазменная система
плазменной обработки. Обязательно включает в себя:
- Плазменный генератор
- Линии для подачи напряжения и технологического газак генератору плазмы
- Электрическая система управления
Особенности плазменной установки низкого давления
Плазменный генератор представляет собой высокочастотный генератор. Другие компоненты плазменной системы – прочная на давление вакуумная камера и вакуумная система. В зависимости от реализуемого плазменного процесса применяются разные генераторы плазмы. Высокочастотные электроды (пластинчатые или трубные электроды) или магнетрон при возбуждении микроволновым излучением. Используются также различные опциональные компоненты:- Датчики давления
- Регулировочные клапаны
- Фильтры отработавших газов
- Электрические экраны (клетка Фарадея)
- Полимерные испарители
- Носители материала
Особенности атмосферной плазмы
Используется высоковольтный плазменный генератор. Для возбуждения плазмы в генераторе плазмы размещены два электрода коронного разряда, между которыми под действием высокого напряжения зажигается газовый разряд. Используемый технологический газ подается под высоким давлением.
