Sistema de plasma
Sistema integral destinado a realizar un tratamiento con plasma. Siempre comprende los siguientes elementos:
- Un generador de tensión de plasma
- Un generador de plasma
- Líneas de alimentación eléctrica y de gas del proceso al generador de plasma
- Control eléctrico
Particularidades del sistema de plasma de baja presión
El generador de tensión de plasma es un generador de alta frecuencia. Como componentes adicionales del sistema de plasma, se necesitan una cámara de plasma resistente a la presión y un sistema de vacío. En función del proceso con plasma que deba realizarse, se utilizan diferentes generadores de plasma: electrodos de alta frecuencia (electrodos de placa o de tubo) o bien un magnetrón en caso de excitación por radiación de microondas. También pueden emplearse otros componentes opcionales:
- Sensores de presión
- Válvulas de regulación
- Filtro de gases emitidos
- Apantallamientos eléctricos (jaula de Faraday)
- Vaporizador de polímeros
- Soporte de mercancías
Particularidades del plasma atmosférico
El generador de tensión de plasma es un generador de alta tensión. Para la excitación de plasma, el generador de plasma cuenta con dos electrodos de corona, entre los cuales se enciende una descarga de gas debido a la alta tensión. El gas del proceso se suministra a alta presión.
