Sistema al plasma

Impianto completo per l'esecuzione di un trattamento al plasma. L’impianto comprende sempre:

  1. un generatore di plasma
  2. nonché
  3. cavi per l'alimentazione elettrica e l’alimentazione del gas di processo al generatore di plasma
  4. e un sistema di controllo elettrico

Caratteristiche specifiche di un impianto al plasma a bassa pressione.

Il generatore di plasma è un generatore di alta frequenza. Ulteriori componenti necessari sono una camera del plasma resistente alla pressione e un sistema per vuoto. In funzione del processo al plasma da eseguire, vengono utilizzati diversi generatori di plasma. Elettrodi ad alta frequenza (elettrodi a piastre o elettrodi a tubo) o un magnetron in caso di eccitazione mediante radiazione a microonde. Opzionalmente, possono essere utilizzati vari altri componenti:

  • sensori di pressione
  • valvole di regolazione
  • filtro del gas di scarico
  • schermature elettriche (gabbia di Faraday)
  • polimero evaporatore
  • supporti per pezzi di lavorazione.

Caratteristiche specifiche del plasma atmosferico

Il generatore di plasma è un generatore di alta tensione. Per l'eccitazione del plasma, nel generatore si trovano due elettrodi a corona, tra i quali viene innescata una scarica di gas dall'alta tensione. Il gas di processo è alimentato ad alta pressione.

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