Sistema al plasma
Impianto completo per l'esecuzione di un trattamento al plasma. L’impianto comprende sempre:
- un generatore di plasma
- nonché
- cavi per l'alimentazione elettrica e l’alimentazione del gas di processo al generatore di plasma
- e un sistema di controllo elettrico
Caratteristiche specifiche di un impianto al plasma a bassa pressione.
Il generatore di plasma è un generatore di alta frequenza. Ulteriori componenti necessari sono una camera del plasma resistente alla pressione e un sistema per vuoto. In funzione del processo al plasma da eseguire, vengono utilizzati diversi generatori di plasma. Elettrodi ad alta frequenza (elettrodi a piastre o elettrodi a tubo) o un magnetron in caso di eccitazione mediante radiazione a microonde. Opzionalmente, possono essere utilizzati vari altri componenti:- sensori di pressione
- valvole di regolazione
- filtro del gas di scarico
- schermature elettriche (gabbia di Faraday)
- polimero evaporatore
- supporti per pezzi di lavorazione.
Caratteristiche specifiche del plasma atmosferico
Il generatore di plasma è un generatore di alta tensione. Per l'eccitazione del plasma, nel generatore si trovano due elettrodi a corona, tra i quali viene innescata una scarica di gas dall'alta tensione. Il gas di processo è alimentato ad alta pressione.
