Glossaire de la technologie de surface
Système plasma
Installation intégrale permettant un traitement au plasma. Elle comprend toujours :
- un générateur
- de plasma
- ainsi que les câbles pour l'alimentation électrique et conduites pour l'alimentation du gaz de traitement vers le générateur de plasma
- et une commande électrique
Particularités du système plasma basse pression
Le générateur de plasma est un générateur haute fréquence. D'autres composants nécessaires du système plasma sont une chambre à plasma résistante à la pression et un système à vide. En fonction du processus plasma à effectuer, différents générateurs de plasma sont utilisés. Électrodes haute fréquence (électrodes à plaques ou à tubes) ou magnétron pour l'excitation par rayonnement micro-ondes. En option, divers autres composants sont utilisés :- Capteurs de pression
- Vannes de régulation
- Filtres de gaz d'échappement
- Blindages électriques (cage Faraday)
- Évaporateur de polymères
- Supports de pièces
Particularités du plasma atmosphérique
Le générateur de plasma est un générateur de haute tension. Pour l'excitation par plasma, deux électrodes corona se trouvent dans le générateur de plasma, entre lesquelles une décharge de gaz est allumée par la haute tension. Le gaz de traitement est alimenté sous haute pression
