Verre de quartz
Le verre de quartz est un verre de haute pureté consistant en dioxyde de silicium pur (SiO2). Pour certains procédés de gravure, l'acier inoxydable peut ne pas être suffisamment résistant en tant que matériau pour le récipient . Dans de tels cas, la chambre à plasma peut également être en verre de quartz, qui résiste à pratiquement toutes les attaques de gravure. En général, le vitrage des chambres à plasma est en verre de quartz et, dans certains cas, les supports de pièces, si, comme dans le cas du récipient, l'acier inoxydable n'est pas suffisamment résistant. Les plaquettes de silicium sont stockées dans un récipient en verre de quartz pour la gravure.
