Глоссарий технологии обработки поверхностей
Кварцевое стекло
2). При некоторых процессах травления высококачественная сталь в качестве материала реципиента может обладать недостаточной стойкостью. В таких случаях плазменная камера может состоять из кварцевого стекла, устойчивого практически к любому воздействию. Из кварцевого стекла обычно выполняются окна плазменных камер, а также объектодержатели, если высококачественная сталь непригодна для этой цели. Кремниевые пластины помещаются для травления в лодочку из кварцевого стекла.
