Vidrio de cuarzo
El vidrio de cuarzo es un vidrio de alta pureza, compuesto por dióxido de silicio puro (SiO2). Para algunos procesos de grabado, el acero inoxidable puede estar dotado de una resistencia insuficiente para su uso como material del recipiente. En tales casos, la cámara de plasma también puede constar de vidrio de cuarzo, que se muestra resistente frente a casi cualquier ataque de grabado. En general, las ventanas de las cámaras de plasma están fabricadas en vidrio de cuarzo; en muchas ocasiones, también lo están los portaobjetos: si, como en el caso del recipiente, la resistencia del acero inoxidable resulta insuficiente. Las obleas de silicio se almacenan en un bote de vidrio de cuarzo para el grabado.
