Lessico della tecnologia delle superfici
Vetro di quarzo
Si tratta di un vetro di elevata purezza, composto da diossido di silicio puro(SiO2). Per alcuni processi di acidatura, l'acciaio inossidabile può non essere sufficientemente resistente come materiale per il recipiente . In questi casi, la camera del plasma può essere anche in vetro di quarzo, resistente a qualsiasi attacco di acidatura. In generale, le finestre delle camere del plasma sono in vetro di quarzo e in alcuni casi lo sono anche i supporti del prodotto se, come nel caso del recipiente, l'acciaio inossidabile non è sufficientemente resistente. I wafer di silicio vengono conservati in un vassoio al quarzo per l'acidatura.
