Vetro di quarzo

Si tratta di un vetro di elevata purezza, composto da diossido di silicio puro(SiO₂). Per alcuni processi di acidatura, l'acciaio inossidabile può non essere sufficientemente resistente come materiale per il recipiente . In questi casi, la camera del plasma può essere anche in vetro di quarzo, resistente a qualsiasi attacco di acidatura. In generale, le finestre delle camere del plasma sono in vetro di quarzo e in alcuni casi lo sono anche i supporti del prodotto se, come nel caso del recipiente, l'acciaio inossidabile non è sufficientemente resistente. I wafer di silicio vengono conservati in un vassoio al quarzo per l'acidatura.