Procédé humide

Les produits de nettoyage classiques sont des solvants liquides ou des lessives et acides caustiques. Le nettoyage s'effectue généralement dans des cuves d'immersion. Des processus mécaniques viennent souvent compléter le nettoyage. La gravure de surface s'effectue de la même manière. L'avantage des procédés humides est une vitesse de nettoyage relativement élevée et une grande vitesse de gravure. Les liquides de nettoyage et de décapage nuisent sans exception à l'environnement et à la santé et des procédures complexes et coûteuses de stockage, de manipulation et d'élimination doivent être respectées. Les procédés chimiques par voie humide impliquent en outre un post-traitement pour l'élimination des produits chimiques et le séchage. Ces inconvénients sont complètement supprimés avec les processus au plasma chimique sec. Un autre avantage particulier réside dans le fait que le plasma basse pression permet le nettoyage et la gravure complets, même dans les plus petits espaces et contre-dépouilles, qui fonctionne pratiquement avec une précision atomique précise, et l'élimination intégrale des résidus les plus fins. Cependant, les taux de gravure dans les procédés chimiques secs sont généralement plus faibles que dans les procédés humides. Si de grandes épaisseurs de couche doivent être enlevées, il faut donc souvent utiliser des procédés au mouillé en complément.