Tratamiento en húmedo

Los productos de limpieza clásicos son disolventes líquidos o lejías y ácidos corrosivos. La limpieza suele efectuarse en tanques de inmersión. A menudo, se añaden tratamientos mecánicos complementarios. El grabado de superficies se realiza del mismo modo. La ventaja del tratamiento en húmedo radica en una velocidad de limpieza relativamente alta y en una tasa de grabado elevada. No obstante, los líquidos de limpieza y grabado son nocivos para el medio ambiente y la salud, sin excepción alguna, y el almacenamiento, la manipulación y la eliminación implican procedimientos costosos y caros. Además, los procedimientos químicos en húmedo exigen un tratamiento posterior, consistente en la eliminación de productos químicos y el secado. Estos inconvenientes se suprimen por completo en el tratamiento con plasma, que es un procedimiento químico en seco. Asimismo, resulta especialmente ventajoso el hecho de que el plasma de baja presión posibilita una limpieza y un grabado integrales incluso en los intersticios y destalonamientos más pequeños, funciona con una precisión prácticamente a nivel de capa atómica y permite eliminar por completo los restos más diminutos. Sin embargo, las tasas de grabado del procedimiento químico en seco suelen ser menores que las del tratamiento en húmedo. Por lo tanto, cuando hay que eliminar grandes espesores de capa, a menudo deben utilizarse procedimientos en húmedo como complemento.